真空・メカトロ製品・部門

長州産業(株)の真空・メカトロ機器本部では長年にわたり培ってきた真空技術、プロセス技術を駆使して主には有機ELデバイス向けの成膜装置を設計、製作しています。
他には類をみないユニークなEV-ALLルツボによる真空蒸着技術、低温・低ダメージで成膜可能なミラートロンスパッタ技術などを開発し、有機ELデバイス製造の技術開発に貢献しています。

また、アフターサービス面ではフルサポートシステムを構築し、設計から洗浄、再生、オーバーホール業務に至るまで、お客様へのバックアップ体制を整えています。


有機ELデバイス関連装置

有機ELデバイス製造装置にはCICならではの独自の技術が活かされています。

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有機ELデバイス開発室

CIC OLED DEVELOPMENT ROOM 各種実験装置、測定機器等を取り揃えております。

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有機無機材料蒸着セル・コンポーネント

蒸着プロセスのあらゆる用途に対応するコンポーネントを提供しています。

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メカトロ関連装置

半導体から食品分野まで幅広い業種に対応する、FA・メカトロ機器を提供。

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精密加工

超精密部品から冶工具類まで、多彩な精密加工製品で製造現場をサポートします。

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トータルサポート・アフターサービス

CICならではのフルサポート体制がお客様のあらゆるニーズに応えます。

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洗浄再生・オーバーホール

真空装置技術を根底から支えています。

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