電子銃式蒸着機

E-gun蒸着機器

k-Cellでの蒸着が困難な高融点材料や低蒸気圧材料は、E-gun蒸着源により蒸着します。MBE装置に容易に追加できるタイプから、マルチ蒸着が可能なタイプまで幅広いラインナップを取り揃えております。

フィラメントから出射したエネルギーは、有効に試料に集中
縦型モジュラーマグネットの採用により、磁場強度はルツボ上部が強く、底部に向けて徐々に弱くなり、エレクトロンビームは収束されて材料に入射します。

同一出力(10、15、20kW)では、大きさが最小で、最大のルツボ容量
モジュラマグネットの採用により、全体形状は他社に比べ72%以下で同一出力、ルツボ容量が得られます。

エレクトロンビームの最大輝度部を有効利用
スパイラルフィラメントの両端から発生するエレクトロンテールをカットし、中央部の最大輝度部のみを試料に導く構造になっております。

ルツボ全体を均一に加熱
ビームの垂直照射とコンパクトな設計による2ヶの高周波スイープコイルにより試料を均一に加熱します。

フィラメントの交換が容易
独特の設計により、フィラメントの交換が『正確に、簡単に、早く』どなたにでも容易にできます。

メンテナンスが容易
ルツボ上部には取り外し可能なコンタミ防止用シールドキャップがあり、もし蒸着試料により汚染されたときは容易に清掃、交換ができます。

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