MBEセル

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k-Cell

高性能、高純度、高信頼性

MBEに使用する固体ソースセルには、分子線フラックスの高い安定性はもちろん不純物を極小とする仕様が求められます。長州産業の固体ソースセルは構成材料を徹底的に見直し、高温部分には高純度のTaとPBNのみを使用しています。Taは他の高融点材料に比べて不純物濃度が低く、MBEに要求される高純度を満たします(一部Wフィラメントを使用)。


豊富なラインアップ

ルツボにストレートタイプやコニカルタイプを使用するセルをエフュージョンセル、TAITONECK※1ルツボを使用するセルをクヌーセンセルとして明確に区別しています。エフュージョンセルには、使用する材料の蒸気圧に応じて3タイプをラインアップしています。さらに使用目的に合わせてドーパントエフュージョンセルとクラッキングエフュージョンセルの2タイプをラインアップしています。クヌーセンセルも使用材料の蒸気圧に応じて2タイプをラインアップしていますので、ご使用になる材料、目的に応じて最適なセルを選択することができます。他社(Riber、VG、Veeco、Eikoなど)のMBEシステムやカスタムMBEシステムにも最適に使用できるラインアップを提供しています。


高性能温調電源

デュアルヒータ構造のセルに1台で対応するために、次の2つのタイプをラインアップしています。

  1. 2つの温調ループを内蔵し2つのヒータを個々に制御する機能を1台にモジュール化したタイプ
  2. 1つの温調ループによる出力をPWM※2チョッパで2つのヒータに分割出力する機能を1台に内蔵したタイプ

全ての電源は過電流によるセルの損傷を防止する電流制限機能付です。


迅速サポート

純国産の特徴を活かし、お客様のご要望に対して迅速にサポートいたします。また、すべてのセルは分解、メンテナンスを容易に行なえる構造とし、セル破損時の修理費用を最小限にとどめトータルコストを低く抑えます。

MBEセル

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※1 TAITONECK : ルツボ開口部を細かく絞ることにより、フラックス安定性を実現したルツボ形状(商標登録)。
※2 PWM : Pulse Width Modulation

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