ミニサーモボールバルブドセル

ミニサーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様

Mini-TVC

Mini-TVCはルツボ容量15cc、最小必要材料0.05gと研究用に適したサーモボールバルブドセルです。
ルツボ゙内に収容したサーモボールと蒸気流量を高精度に制御できるバルブの開発により、極めて安定したレートと瞬時のレート可変性を実現しました。
バルブによるフラックスの迅速なシャットオフが可能なので、昇華性が高く低温における蒸気圧が高い有機材料やドーパント等コンタミネーションの許されない材料の蒸着に極めて有効です。

有機材料蒸着機器

無機材料蒸着機器

分析機器

▲ このページの先頭へ