SiCルツボ

k-Cell用 SiCルツボ

SiCルツボ
SiCルツボ(左)とPBNルツボ(右)

SiCは、熱伝導率が金属並みに高く、他のルツボ材質に比較してあらゆる物性で優れており、ルツボ内温度分布の均一性、温度制御性を大幅に改善することができます。
一般的なルツボの作製で行われる削り出しとは異なり、CVD(化学気相成長)法を用いて製造されるため、リップ開口部の狭い特徴的な構造のルツボを形成することが可能になっています。

SiCルツボは、長州産業(株)、三井造船(株)、(株)アドマップが共同開発し、特許を申請しております。


ルツボ材料比較

項目 SiC PBN
物性値 密度 (kg/m3) 3.21×103 2.1×103
熱膨張係数 (1/℃) 4.5×10-6 3.1×10-6
熱伝導率 (cal/cm・s・℃) 0.7 0.16
比抵抗 (Ω・cm) 104 1015
不純物濃度 Na (ppm) <0.002 <0.003
K <0.006 <0.003
Fe <0.035 <0.003
Cr <0.026 <0.00004
Ca <0.05 <3
Al <0.01 <1
耐食性 19NH2SO4 (1470h @128℃) 変化なし
王水 (186h @80℃) 変化なし
大気中 (146h @1500℃) 変化なし 720℃から酸化
フッ化水素 (168h @R.T) 変化なし
リン酸 (168h @160℃) 変化なし

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