サーモボール

サーモボール / 特徴

ThermoballTM 有機材料蒸着用添加材料

有機材料の蒸着レート安定化のために

MBE法において熱伝導率の小さい材料の安定した蒸着レートを得ることは非常に困難です。図に示すようにルツボ内の材料は、ルツボ内壁近傍のみが加熱され、材料の中心付近までは熱が効率よく伝わりません。その結果ルツボ内壁近傍のみの材料が蒸発し、中心付近の材料が残ってしまうのです。この状態で蒸着を続けると材料の転倒や崩落が起こり、蒸着レートの急激な変化が起きてしまいます。

サーモボール


有機材料は熱伝導が非常に悪く、しかも熱により容易に分解し材料が改質してしまうという性質を有します。そのため蒸着レートを大きくするために加熱温度を高くすると、ルツボ内壁付近の材料が分解し改質してしまい、材料の消費効率が非常に悪くなってしまうのです。

サーモボール

材料を有効にしかも安定したレートで蒸着するための一つの答えがThermoball(サーモボール)です。Thermoballは金属並みに熱伝導率が高く、高温でも科学的に安定した粒状の添加剤です。これを蒸着材料と混合しルツボに装填することで、熱伝導率の悪い材料をあたかも熱伝導率の良い材料のように振舞わせることが可能になります。これにより材料を均一にしかも効率よく加熱することができ、不均一加熱による高温部の形成による材料の熱分解を防ぐとともに安定した蒸着レートが得られます。

現在、Thermoball単体での販売は行っておりません。Thermoball Cell及びThermoball Valved Cellに標準で付属いたします。

※ThermoballTMは長州産業の登録商標です。

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