サーモボールセル

サーモボールセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Cell 有機材料蒸着用セル

Thermoballセルは低温領域の温度制御に優れたヒーター構造と、ルツボ内の温度分布を均一に保つためのThermoballを使用することにより、蒸着レートの安定性と材料の有効利用を実現した有機物蒸着用のセルです。

有機物は一般的に、高蒸気圧、高昇華性、低熱伝導性という特性を有します。このような材料は低温で蒸着を行うのが一般的なため、低温領域での温度制御が重要になります。また、熱伝導性が悪いため、ルツボ内壁付近と蒸着材料中心付近での温度勾配が大きくなってしまいます。そのため蒸着レートを大きくするために温度を高くするとルツボ内壁付近の材料が熱分解を起こし改質してしまいます。その結果、蒸着材料が無駄になってしまうのです。

Thermoballセルは、ヒーター構造の最適化により、600℃以下の低温領域での優れた温度制御を実現しており、一般的な有機物蒸着温度での使用に適しています。さらにThermoballを蒸着物質に混合することで、蒸着物質の低い熱伝導性を改質し、さながら高い熱伝導率を有する材料のように振舞わせることが可能になります。このことにより蒸着材料内の温度勾配を小さくし、均一な温度分布を実現しています。従来の有機物蒸着で問題となっていたヒートスポットによる材料の熱分解をなくすことに成功しています。

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