サーモボールバルブドセル

サーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Valved Cell 有機材料蒸着用バルブドセル

Thermoball Valved Cellはルツボ内に混合充填するThermoballと、蒸気流量を高精度に制御できるバルブにより、極めて安定した蒸着レートと迅速なレート可変性能を有する有機材料蒸着用のセルです。

有機材料に多く見られる高蒸気圧、高昇華性といった特徴はときとして有機物蒸着に大きな弊害をもたらします。この様な材料にはベーキング中に(材料によっては室温で)昇華してしまうものがあるため、他の材料や基板へのコンタミネーションを招いてしまうのです。
Thermoball Valved Cellは材料室、バルブ制御室、蒸気導入路からなる構造を有し、それぞれが独立で加熱できるようになっています。材料室を加熱することによって発生した蒸気は高精度のニードルバルブにより流量が調整されます。バルブの開閉により流量を調整できるため、迅速な蒸着レートの変化が実現できます。バルブを全閉にすることで流量を0にすることも可能なため、他の材料へのコンタミネーションを防ぐとともに材料の無駄な消費を抑えることができます。さらに材料と混合してThermoballを充填することにより蒸着レートの極めて高い安定性を実現しています。
また構造的にルツボの大容量化が容易で、従来のセルに比較して多くの蒸着材料を充填することが可能になるため、更なるコストの削減が期待できるのです。

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