有機ELデバイス関連装置

有機ELデバイス製造装置にはCICならではの独自の技術が活かされています。

【真空蒸着装置】
CICの有機EL製造装置は長年培った真空技術と高精度搬送技術を融合させ、ユニフォーミティ、材料使用効率など、あらゆる面で高性能を誇ります。OLED研究開発から量産装置まで対応致します。

【ミラートロンスパッタ】
CIC独自のミラートロンスパッタ(対向ターゲットスパッタ)は、低温、低ダメージ成膜が可能です。
透明導電膜、メタル電極、封止膜成膜に最適です。OLED、OPVに多くの採用実績があります。


有機ELデバイス製造装置

有機ELデバイス製造装置(インライン式)
有機ELデバイス製造装置(クラスター式)
有機EL量産装置
有機EL実験装置
蒸着・スパッタ マルチ実験装置
ミラートロンスパッタ装置
グローブボックス

最先端の超高真空技術で、半導体分野に新たな地平を拓きます。

各種半導体装置の製作を通して培った真空技術は、次々と登場するハイテク装置のニーズにも柔軟にお応えしています。お客様にとって真の力となる製品を産み出します。


電子部品製造装置

クラスター蒸着装置
多機能スパッタ装置
エッチング装置

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