MBEセルのカスタム・MBEシステム

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カスタムエフュージョンセルの作製

弊社ではお客様のご要望に合わせた仕様で一つ一つのセルを作製してきました。その蓄積された経験と実績によりラインアップにないセルでも、用途、使用温度、容量、取り付けポート径などをご指定いただければ、ご要望に合わせて作製します。大容量のものからミニフランジ取り付け用セルなど柔軟に対応いたします。


他社製セルのメンテナンス・修理サービス

国内外を問わず他社製MBEコンポーネントのメンテナンス・修理サービスを行います。すべての作業は国内で行うため、迅速な対応が可能です。弊社修理後は3ヶ月の保証期間を設けておりますので安心してご利用いただけます(消耗品を除く)。


MBEシステム

  • Ⅲ-Ⅴ半導体用MBEシステム(3インチ基板)
  • Ⅱ-Ⅵ半導体用MBEシステム(3インチ基板)
  • 窒化物半導体用プラズマソースMBEシステム(3インチ基板)

それぞれ標準仕様で、成膜チャンバー、搬送チャンバー、ロードロックチャンバーの3チャンバー構成となっており、将来のシステム拡張にも柔軟に対応することができます。また弊社取り扱いの分析機器との組み合せにより、お客様の用途に最適なMBEシステムの構築を可能にしています。MBEシステムの詳細は弊社へお問い合わせ下さい。

カスタム・MBEシステム

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