ミニサーモボールバルブドセルの仕様

ミニサーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様

Mini-TVC

仕様

フィラメント形状 4ゾーンヒータ;それぞれの独立制御が可能
フィラメント構成 Taワイヤー、PBNサポート
熱電対 Kタイプ(クロメル/アルメル)× 4
使用温度 標準使用条件 お問い合わせください。
最高使用温度 お問い合わせください。
脱ガス温度 お問い合わせください。
温度安定度 ±0.1℃
マウントフランジ 70ICF以上
寸法 お問い合わせください。
真空内長 お問い合わせください。
電源 自動制御ユニット 2-チャンネル 600W+600W直流電源
オプション 熱よけガード、分布補正アタッチメント
ルツボ容量 15cc

有機材料蒸着機器

無機材料蒸着機器

分析機器

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