RHEED電子銃の仕様

RHEED電子銃 (仕様) / 蛍光スクリーン

反射高速電子回折(RHEED)用電子銃

電子銃仕様

VE-026 VE-052S VE-056S
ビームスポット φ100μm φ90μm
ビーム平行度 φ100μm/m φ90μm/m
加速電圧 15kV 30kV 50kV
フィラメント φ0.1タングステン φ0.1タングステン φ0.1タングステン
軸合わせ機構 ベローズ首振り ウェネルト、アノード軸合わせ機構
ビーム収束 空芯型電磁コイル
ビーム偏向 トロイダル電磁コイル
耐ベーキング温度 230℃
取り付けフランジ φ70ICF


VE-026


VE-052S、VE-056S


電源仕様

VP-026 VP-052S VP-058S
加速高圧電源 出力電圧 DC1-15kV DC3-30kV DC5-50kV
出力電流 0.2mA(最大) 0.3mA(最大) 0.2mA(最大)
安定度 0.005% 0.005% 0.005%
フィラメント電源 出力電圧 DC0-3V DC0-3V DC0-3V
出力電流 3A 3A 3A
安定度 0.01% 0.01% 0.01%
レンズ電源 出力電圧 DC0-5V DC0-5V DC0-5V
出力電流 2A 2A 2A
安定度 0.005% 0.005% 0.005%

有機材料蒸着機器

無機材料蒸着機器

分析機器

  • RHEED電子銃および蛍光スクリーン

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