サーモボールの特徴

サーモボール / 特徴

ThermoballTM 有機材料蒸着用添加材料

Thermoballの使用により安定する蒸着レート

Thermoballを使用した場合と使用しない場合の蒸着レートの安定性を比較すると、Thermoballを使用した場合のほうが格段にレートが安定していることがわかります。また、蒸着開始初期に発生するオーバーシュートもかなり小さくなっています。これは熱伝導率の良いThermoballを混合することで、材料が均一に過熱されたことによると考えられます。すなわち、Thermoballを使用しない場合はルツボ内壁周辺の材料が急激に加熱され、大きなオーバーシュートを形成しますが、Thermoballを使用した場合は材料全体が徐々に加熱されるため、このようなことが起こらないと考えられます。


コンタミネーションフリー

Thermoballは非常に熱伝導率が高く化学的に安定した物質で形成されています。そのため有機材料の蒸着温度程度では材料と反応することも、Thermoball自身の蒸発による材料へのコンタミネーションも心配ありません。
また徹底的な不純物除去のため、出荷前に充分な洗浄と高真空内でのガス出しを行っております。


有機材料の有効利用によるコスト削減


左:有機材料と混合したThermoball
右:12時間蒸着後。残留物は見られず。

材料と混合し蒸着レートが0になるまで使用した後のThermoballは、使用前とほとんど変わらない状態に戻っています。もし、不均一加熱により高温部が形成され、材料が分解した場合は、その残留物が残りますが、Thermoballを使用した場合はそのような残留物が残ることはほとんどありません。
Thermoballを混合することにより、一度にルツボに充填できる材料の量は減りますが(材料とThermoballは体積比1:1で混合させるのが標準です)、一般的に高価な有機材料を無駄なく使いきれるためコストの面でも不利になることはありません。

▲ このページの先頭へ