サーモボールセルの特徴

サーモボールセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Cell 有機材料蒸着用セル

デュアルヒーター構造による高い温度制御性
ルツボのリップ(開口部)とボトム(本体)のヒーターを別々に制御することによりリップ部の温度低下を防ぎ、低温領域におけるルツボ内の均一加熱を実現しています。リップとボトムの独立加熱の効果により、シャッターの開閉時に起こるシャッターからの照り返しの影響による蒸着レート変化も最小限に抑えられます。

蒸発材料の均一加熱
弊社独自のThermoballを有機材料と混合することにより有機材料の低い熱伝導性を改質し蒸着材料全体の均一加熱を実現しています。下図は65ccルツボにThermoballを充填したときのルツボのリップ部、ボトム部、材料の中心部における温度を熱伝対により測定したときの各点の温度です。200℃、300℃と段階的に昇温しておりますが、蒸着材料はほぼルツボと変わらない温度になっていることがわかります。



高い蒸着レート安定性
Thermoballを使用しないルツボ内では、ルツボ内壁より蒸発し、その後突沸や材料の崩落現象等によって蒸着レートの乱れが発生ますが、蒸着材料の均一過熱の実現により、蒸着レートが安定します。

大容量化
ThermoBallの使用により材料全体の熱伝導率が大きくなるために熱が効率よく伝わり、蒸着材料全域での均一加熱が実現します。これにより大容量のルツボでも均一な加熱が可能です。

インサートの使用によるドーパント材料の低レート蒸着
ルツボ開口部にインサートを装着することにより、蒸着レートを抑え、低い蒸着レートを実現します。ドーパント材料の蒸着に最適です。

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