サーモボールセルの仕様

サーモボールセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Cell 有機材料蒸着用セル

Thermoball Cell仕様一覧

フィラメント形状 デュアルフィラメント;リップ、ボトムの独立制御と比率制御が可能。
フィラメント構成 Taワイヤー、PBNサポート
熱電対 Kタイプ(クロメル/アルメル))×2
使用温度 100~750℃(標準使用条件)
900℃ 最高使用温度
1000℃ 脱ガス温度
温度安定度 ±0.1℃
マウントフランジ 30cc 70ICF(以上)
65cc 114ICF(以上)
135cc 152ICF(以上)
※オプションのシャッター、水冷を追加された場合はこの限りではありません。
寸法 下表参照。
真空内全長 203から356mmまで設定可能。
電源 ルツボ容量により異なります。
電源コネクター 4ピン
オプション 水冷、シャッター(手動、電動、圧空動作)

寸法一覧

ルツボ容量 マウントフランジ D L OL
30cc 70ICF 36 127 110
65cc 114ICF 56 152 110
135cc 152ICF 61 152 110

サーモボールセル

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