サーモボールバルブドセルの特徴

サーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Valved Cell 有機材料蒸着用バルブドセル

Thermoballの混合による蒸着レートの安定性

ルツボ内に蒸着材料と混合してThermoballを入れることで、材料の均一加熱を実現しています。これにより不均一加熱による高温部の形成による材料の熱分解と改質が起こるのを防ぎ、材料を有効に利用することができます。また蒸着レートの高い安定性を実現しています。バルブの開度と温度を一定にしたときの蒸着レート変化は、0.5Å/secという小さい蒸着レートでも、蒸着開始から3時間で±5%以下しかありません。


バルブによる蒸着レート制御

温度ではなく、バルブの開閉により蒸着レートを制御するため、蒸着レートの迅速な変化を行うことができます。バルブ全開時と全閉時の蒸着レート変化の追従性をみるとレートはバルブの開閉後10sec以内で定常化しています。しかもオーバーシュートもほとんど見られません。これは温度制御ではないため温度が常に一定で、ルツボ内が飽和蒸気圧に保たれているためです。



バルブの開度を変えることで蒸着レートは自由に設定できます。ルツボの加熱温度を230℃と250℃にしたときのバルブ開度と蒸着レートの関係を右に示します。バルブの開度により蒸着レートが変化しているのがわかります。加熱温度を最適化することで、非常に高精度で蒸着レートの制御が行えます。高レートでの蒸着から、ドーパントなどの低レート蒸着まで幅広く対応します。

バルブ全閉による外乱の排除

バルブを完全に閉じたときは、蒸気フラックスは発生しません。そのため蒸着しないときはバルブを閉じることにより材料の無駄な消費を防ぐことができます。また他のセルの材料に対するコンタミネーションだけでなく、外部からのH2OやO2などの影響を受けにくくなります。

大容量と高い設置の自由度

材料室は成膜装置の外部に設置され、装置の内部に設置されるのは蒸気導入路のみとなるような構造ですので、材料室の大容量化が容易です。そのため従来のセルに比べ大幅な材料の大容量化を実現しています。
また縦型と横型があるため成膜装置への設置の自由度が高くなっています。

有機材料蒸着機器

無機材料蒸着機器

分析機器

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