サーモボールバルブドセルの仕様

サーモボールバルブドセル / 特徴 / 仕様

ThermoballTM Valved Cell 有機材料蒸着用バルブドセル

仕様

フィラメント形状 6ゾーンヒータ;それぞれの独立制御が可能
フィラメント構成 Taワイヤー、PBNサポート
熱電対 Kタイプ(クロメル/アルメル)× 6
使用温度 標準使用条件 お問い合わせください。
最高使用温度 お問い合わせください。
脱ガス温度 お問い合わせください。
温度安定度 ±0.1℃
マウントフランジ 152ICF以上
寸法 お問い合わせください。
真空内長 お問い合わせください。
電源 ルツボ容量により異なります。
オプション 熱よけガード、分布補正アタッチメント
ルツボ容量 300cc、600cc

有機材料蒸着機器

無機材料蒸着機器

分析機器

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